使用TiO2光解技术净化废气，是通过UV灯管发射的UV光子，将废气物质的化学键打断、裂解，生成呈离子状态的原子、自由基，再通过TiO2催化裂解产生的臭氧、羟基自由基将其氧化成简单的、稳定的小分子或低毒化合物，如CO2、H2O等。
需要确定各种废气分子的化学键键能，只有键能低于UV 光子能量，才能被裂解。
TiO2光解催化氧化设备UV光子量可达（747kJ/mol）,本次待处理的键能均小于747kJ/mol，故很容易通过捕获UV光子获得能量使其化学键断裂，而便于进一步被氧化形成稳定的简单的化合物。
废气分子只被裂解成原子、自由基是不够的，还需要通过羟基自由基将其氧化成稳定的小分子，如CO2、H2O等，从而达到废气净化的目的。臭氧需要通过氧气获取UV光子的能量后裂解形成活性氧原子并与氧气而结合形成；净化技术可靠且非常稳定，净化设备无须日常维护，只需接通电源即可正常使用，且运行成本低，无二次污染。
